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＜図書＞
コウノウド イオン チュウニュウ タンカ シリコン ヒショウシツソウ ノ サイケッショウカ ト フジュンブツ コウカ ノ カイメイ
高濃度イオン注入炭化シリコン非晶質層の再結晶化と不純物効果の解明 / 佐藤政孝研究代表者
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成15年度〜平成16年度)
| 出版情報 | [小金井] : [佐藤政孝] , 2006.3 |
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| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 53p : 挿図 ; 30cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | 資料メモ | 仮想書架 |
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| 小:2閲B1FエリアC |
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549.8/Sa85 | 10502021230557 |
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