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＜図書＞
ゴクウス シリコン サンカマク ノ ケイセイ ト カイメン ヒョウカ ギジュツ
極薄シリコン酸化膜の形成と界面評価技術 / 野村滋, 福田永共著
| 出版情報 | 東京 : リアライズ社 , 1997.1 |
|---|---|
| 巻冊次 | ISBN:494765595X ; PRICE:29870円 
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| ISBN | 494765595X |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 3, 144, 18p ; 30cm |
[BOOKデータASPサービス] あらすじ／目次
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| 一般注記 | 各章末: 参考文献 |
|---|---|
| 著者標目 | 野村, 滋(1937-) <ノムラ, シゲル> 福田, 永(1956-) <フクダ, ヒサシ> |
| 分 類 | NDC8:549.8 |
| 書誌ID | 1010379451 |
| NCID | BN15802817 |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | 資料メモ | 仮想書架 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 小:2閲B1FエリアC |
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549.8/N95 | 10502020969532 |
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