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<図書>
クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著

出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2006.10
巻冊次 ISBN:4526057657 ; PRICE:3200円+税 REFWLINK
ISBN 4526057657
本文言語 日本語
別書名 標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
大きさ xi, 223p ; 21cm
目次/あらすじ

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著者標目  山田, 公 <ヤマダ, イサオ>
分 類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
件 名 BSH:イオンビーム
書誌ID 1020097597
NCID BA79102802 WCLINK

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小:2閲B1FエリアC
549.1/Y19 10502021110152
 

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