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<図書>
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編

出版者 東京 : オーム社
出版年 2005.10
巻冊次 ISBN:4274201236 ; PRICE:4900円(税別) REFWLINK
ISBN 4274201236
本文言語 日本語
大きさ xi, 279p ; 22cm
目次/あらすじ

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一般注記 参考文献: 章末
著者標目  電気学会 <デンキ ガッカイ>
 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 <デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ>
分 類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
件 名 BSH:イオンビーム加工
BSH:プラズマ物理学
書誌ID 1020056217
NCID BA73952112 WCLINK

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小:2閲B1FエリアC
549.1/D58-1 10502021056832
 

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