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<図書>
ハンドウタイ セイゾウ ノ ギジュツ カイハツ
半導体製造の技術開発 / 坂野進[ほか]編集
(品質工学応用講座)

出版者 東京 : 日本規格協会
出版年 1994.10
巻冊次 ISBN:4542511103 ; PRICE:3786円+税 REFWLINK
ISBN 4542511103
本文言語 日本語
大きさ 366p ; 21cm
目次/あらすじ

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著者標目  坂野, 進(1942-) <サカノ, ススム>
分 類 NDC8:549.8
件 名 BSH:半導体
BSH:品質管理
書誌ID 1100109395
NCID BN11659879

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549.8/29 10502020046850
 

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