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<図書>
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
(集積回路プロセス技術シリーズ)

出版者 東京 : 産業図書
出版年 1989.2
巻冊次 ISBN:478285627X ; PRICE:4500円 REFWLINK
ISBN 478285627X
本文言語 日本語
大きさ viii, 330p ; 22cm
目次/あらすじ

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著者標目  河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
 菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ>
 奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ>
分 類 NDC8:549.8
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
書誌ID 1110020799
NCID BN03233656

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549.8/Ka86 10502020730203
 

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