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<図書>
チョウビサイ カコウ ギジュツ
超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
(応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース)

出版者 東京 : オーム社
出版年 1997.2
巻冊次 ISBN:427402332X ; PRICE:6695円 REFWLINK
ISBN 427402332X
本文言語 日本語
大きさ xiv, 309p ; 22cm
目次/あらすじ

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一般注記 参考文献: 各章末
索引: p[305]-309
執筆: 徳山巍ほか
著者標目  応用物理学会 <オウヨウ ブツリ ガッカイ>
 徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ>
分 類 NDC9:549.7
NDC8:573.5
NDC8:549.8
NDLC:PA241
件 名 NDLSH:ガラス
NDLSH:ガラス製品
BSH:半導体
NDLSH:集積回路
書誌ID 1110086015
NCID BN15970232

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小:2閲B1FエリアC
549.8/To45 10502020564702
 

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