<図書>
ゴクウス シリコン サンカマク ノ ケイセイ ト カイメン ヒョウカ ギジュツ
極薄シリコン酸化膜の形成と界面評価技術 / 野村滋, 福田永共著
出版者 | 東京 : リアライズ社 |
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出版年 | 1997.1 |
巻冊次 | ISBN:494765595X ; PRICE:29870円 ![]() |
ISBN | 494765595X |
本文言語 | 日本語 |
大きさ | 3, 144, 18p ; 30cm |
目次/あらすじ
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一般注記 | 各章末: 参考文献 |
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著者標目 | 野村, 滋(1937-) <ノムラ, シゲル> 福田, 永(1956-) <フクダ, ヒサシ> |
分 類 | NDC8:549.8 |
書誌ID | 1010379451 |
NCID | BN15802817 |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | 利用注記 | 予約・取寄 | 資料メモ | 仮想書架 |
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小:2閲B1FエリアC |
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549.8/N95 | 10502020969532 |
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