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<図書>
ゴクウス シリコン サンカマク ノ ケイセイ ト カイメン ヒョウカ ギジュツ
極薄シリコン酸化膜の形成と界面評価技術 / 野村滋, 福田永共著

出版者 東京 : リアライズ社
出版年 1997.1
巻冊次 ISBN:494765595X ; PRICE:29870円 REFWLINK
ISBN 494765595X
本文言語 日本語
大きさ 3, 144, 18p ; 30cm
目次/あらすじ

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一般注記 各章末: 参考文献
著者標目  野村, 滋(1937-) <ノムラ, シゲル>
 福田, 永(1956-) <フクダ, ヒサシ>
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1010379451
NCID BN15802817

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549.8/N95 10502020969532
 

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