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<図書>
シリコン ノ カガク
シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修
(Surface science technology series ; 3)

出版者 東京 : リアライズ社
出版年 1996.6
巻冊次 ISBN:4947655887 ; PRICE:61800円 REFWLINK
ISBN 4947655887
本文言語 日本語
大きさ 19, 1030, 16p ; 27cm
目次/あらすじ

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一般注記 編集委員会: 滝口蓮一ほか
執筆者: 大見忠弘ほか
参考文献: 各項末
著者標目  半導体基盤技術研究会 <ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ>
 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
 新田, 雄久 <ニッタ, カツヒサ>
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1010325683
NCID BN14827619

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549.8/H29-6 10502020720674
 

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