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<図書>
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著

出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2015.2
巻冊次 ISBN:9784526073663 ; PRICE:3300円+税 REFWLINK
第2版
ISBN 9784526073663
本文言語 日本語
大きさ ix, 437p ; 21cm
目次/あらすじ

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一般注記 参考文献: p425-434
著者標目  小島, 啓安 <コジマ, ヒロヤス>
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
件 名 BSH:薄膜
BSH:真空技術
書誌ID 1400292989
NCID BB18417137

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549.8/Ko39 23011000029785
 

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