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<図書>
コウノウド イオン チュウニュウ タンカ シリコン ヒショウシツソウ ノ サイケッショウカ ト フジュンブツ コウカ ノ カイメイ
高濃度イオン注入炭化シリコン非晶質層の再結晶化と不純物効果の解明 / 佐藤政孝研究代表者
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成15年度〜平成16年度)

出版者 [小金井] : [佐藤政孝]
出版年 2006.3
本文言語 日本語
大きさ 53p : 挿図 ; 30cm

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一般注記 片面印刷
著者標目  佐藤, 政孝 <サトウ, マサタカ>
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1020173748

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小:2閲B1FエリアC
549.8/Sa85 10502021230557
 

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