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<図書>
タソウ ハイセン ギジュツ ノ サイシン ドウコウ : ドウハイセン テイユウデンリツマク
多層配線技術の最新動向 : 銅配線/低誘電率膜 / 新宮原正三著
(Focus Report ; 12)

出版者 東京 : EDリサーチ社
出版年 2002.12
巻冊次 ISBN:4901790226 ; PRICE:¥2000 REFWLINK
ISBN 4901790226
本文言語 日本語
大きさ 50p ; 26cm
目次/あらすじ

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著者標目  新宮原, 正三 <シングウバラ, ショウゾウ>
分 類 NDC9:549.8
NDLC:ND371
件 名 NDLSH:半導体
書誌ID 1010311209

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小:2閲B1FエリアC
549.8/Sh62 10502020927791
 

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