ノムラ, シゲル
野村, 滋(1937-)

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著者の属性 個人
一般注記 SRC:極薄シリコン酸化膜の形成と界面評価技術, 1997.1: 奥付(野村滋;のむらしげる;室蘭工科大学電気電子工学科教授;工学博士)
工学博士(東北大学)
生没年等 1937
コード類 典拠ID=5010206429
1 極薄シリコン酸化膜の形成と界面評価技術 / 野村滋, 福田永共著 東京 : リアライズ社 , 1997.1